The present invention preferably employs non-contact, small-displacement, capacitive sensors to determine Abbe errors due to the pitch, yaw, or roll of a near linear mechanical stage that are not indicated by an on-axis position indicator, such as a linear scale encoder or laser interferometer. The system is calibrated against a precise reference standard so the corrections depend only on sensing small changes in the sensor readings and not on absolute accuracy of the sensor readings. Although the present invention is preferred for use in split-axis positioning systems with inertially separated stages, the invention can be employed in typical split-axis or stacked stage systems to reduce their manufacturing costs.

La actual invención emplea preferiblemente sin contacto, pequeño-dislocacio'n, los sensores capacitivos para determinar los errores de Abbe debido a la echada, desvío, o rodillo de una etapa mecánica linear cercana que no son indicados por un indicador de posición del en-eje, tal como un codificador linear de la escala o interferómetro del laser. El sistema está calibrado contra un estándar exacto de la referencia así que las correcciones dependen solamente de detectar cambios pequeños en las lecturas del sensor y no de la exactitud absoluta de las lecturas del sensor. Aunque la actual invención se prefiere para el uso en sistemas de colocación del partir-eje con las etapas inertially separadas, la invención se puede emplear en partir-eje típico o sistemas apilados de la etapa para reducir sus costes de la fabricación.