A thermal imaging device comprises an array of microbridges(10) disposed on a silicon readout circuit substrate (12). Each microbridge (10) is supported above the substrate (12) by electrodes (14 and 16) so that a cavity (26) is present between the microbridge (10) and the substrate (12). Each microbridge (10) has a collecting area, a region of which is occupied by a ferroelectric active element (20) which converts to received thermal radiation into an electrical response. Radiation which is received by regions of the collecting area not occupied by the active element (20) is converted into heat energy and then transmitted to the active element (20) by conduction.

Μια συσκευή θερμικής απεικόνισης περιλαμβάνει μια σειρά microbridges (10) που διατίθενται σε ένα υπόστρωμα (12). κυκλωμάτων ανάγνωσης πυριτίου Κάθε microbridge (10) υποστηρίζεται επάνω από το υπόστρωμα (12) από τα ηλεκτρόδια (14 και 16) έτσι ώστε μια κοιλότητα (26) είναι παρούσα μεταξύ του microbridge (10) και του υποστρώματος (12). Κάθε microbridge (10) έχει μια περιοχή συλλογής, μια περιοχή της οποίας καταλαμβάνεται από ένα σιδηροηλεκτρικό ενεργό στοιχείο (20) που μετατρέπει στη λαμβανόμενη θερμική ακτινοβολία σε μια ηλεκτρική απάντηση. Η ακτινοβολία που παραλαμβάνεται από τις περιοχές της περιοχής συλλογής που δεν καταλαμβάνεται από το ενεργό στοιχείο (20) μετατρέπεται στην ενέργεια θερμότητας και διαβιβάζεται έπειτα στο ενεργό στοιχείο (20) από τη διεξαγωγή.