There is provided an edge rinse apparatus and an edge rinse method in which a swelling of an end portion of a resist produced by an edge rinse is eliminated. The resist coated on an unnecessary portion is exposed and is developed by using the edge rinse apparatus including a substrate chuck for sucking and holding a substrate, a motor for rotating the substrate chuck, a nozzle for discharging a developing solution to a principal surface of the substrate, a nozzle for discharging the developing solution to a rear surface of the substrate, and an exposure means with the substrate chuck as a mask.

Παρέχεται μια συσκευή ξεβγαλμάτων ακρών και μια μέθοδος ξεβγαλμάτων ακρών στην οποία μια διόγκωση μιας μερίδας τελών αντιστέκεται παραχθείς από ένα ξέβγαλμα ακρών αποβάλλεται. Αντισταθείτε ντυμένος σε μια περιττή μερίδα εκτίθεται και αναπτύσσεται με τη χρησιμοποίηση των συσκευών ξεβγαλμάτων ακρών συμπεριλαμβανομένου ενός τσοκ υποστρωμάτων για την απορρόφηση και το κράτημα ενός υποστρώματος, μιας μηχανής για την περιστροφή του τσοκ υποστρωμάτων, ενός ακροφυσίου για την απαλλαγή μιας αναπτυσσόμενης λύσης σε μια κύρια επιφάνεια του υποστρώματος, ενός ακροφυσίου για την απαλλαγή της αναπτυσσόμενης λύσης σε μια οπίσθια επιφάνεια του υποστρώματος, και μέσων έκθεσης με το τσοκ υποστρωμάτων ως μάσκα.