A system and method for performing selected optical measurements on a
sample is provided utilizing an optical coherence domain reflectometer
which includes a diffraction grating. A broad band light source produces
light having a short coherence length. A beamsplitter splits the light
into a signal beam and a reference beam. A reference mirror is disposed to
receive the reference beam. A lens brings the signal beam to focus on the
sample. A diffraction grating receives reflections from the sample and
from the reference mirror, the reflections being incident on the
diffraction grating with respect to said diffraction grating normal such
that a positive diffraction order from one of the reflections and a
negative diffraction order from the other one of the reflections and a
negative diffraction order from the other one of the reflections propagate
along a common path. A lens collects the diffracted order from the
diffraction grating directed along the common path and brings the
diffracted orders to focus on a detector, the detector producing an output
of said positive and negative diffracted orders received. A computer
processes the output from the detector. In other versions of the
invention, reflections from the sample are not directed onto the
diffraction grating but instead are combined with a diffracted order from
reflections from the reference mirror.
Een systeem en een methode om geselecteerde optische metingen op een steekproef worden uit te voeren verstrekt gebruikend een optische reflectometer van het coherentiedomein die diffractiegrating omvat. Een brede band lichtbron veroorzaakt licht dat een korte coherentielengte heeft. Een beamsplitter verdeelt het licht in een signaalstraal en een verwijzingsstraal. Een verwijzingsspiegel wordt geschikt om de verwijzingsstraal te ontvangen. Een lens brengt de signaalstraal om zich op de steekproef te concentreren. Diffractiegrating ontvangt bezinningen van de steekproef en van de verwijzingsspiegel, de bezinningen die inherent op diffractiegrating met betrekking tot bovengenoemde normaal zijn diffractiegrating dusdanig dat een positieve diffractieorde van één van de bezinningen en een negatieve diffractieorde van andere één van de bezinningen en een negatieve diffractieorde van andere één van de bezinningen zich langs een gemeenschappelijke weg verspreiden. Een lens verzamelt de gebogen orde van diffractiegrating die langs de gemeenschappelijke weg wordt geleid en brengt de gebogen orden om zich op een detector, de detector te concentreren veroorzakend een output van bovengenoemde positieve en negatieve gebogen ontvangen orden. Een computer verwerkt de output van de detector. In andere versies van de uitvinding, worden de bezinningen van de steekproef niet geleid op diffractiegrating maar in plaats daarvan met een gebogen orde van bezinningen van de verwijzingsspiegel gecombineerd.