This invention pertains generally to precursors and deposition methods suited to aerogel thin film fabrication. An aerogel precursor sol which contains an oligomerized metal alkoxide (such as TEOS), a high vapor pressure solvent (such as ethanol) and a low vapor pressure solvent (such as water and 1-butanol) is disclosed. By a method according to the present invention, such a precursor sol is applied as a thin film to a semiconductor wafer, and the high vapor pressure solvent is allowed to evaporate while evaporation of the low vapor pressure solvent is limited, preferably by controlling the atmosphere adjacent to the wafer. The reduced sol is then allowed to gel at a concentration determined by the ratio of metal alkoxide to low vapor pressure solvent. One advantage of the present invention is that it provides a stable, spinnable sol for setting film thickness and providing good planarity and gap fill for patterned wafers. In addition, however, the reduced sol may be gelled rapidly from a known sol concentration keyed to the desired final density of the aerogel thin film and largely independent of film thickness and spin conditions.

Esta invención pertenece generalmente a los precursores y a los métodos de la deposición satisfechos a la fabricación de la película fina del aerogel. Se divulga un solenoide del precursor del aerogel que contiene oligomerized el alkoxide del metal (tal como TEOS), un solvente alto de la presión del vapor (tal como etanol) y un solvente bajo de la presión del vapor (tal como agua y 1-butanol). Por un método según la actual invención, tal solenoide del precursor es aplicado como película fina a una oblea de semiconductor, y el solvente alto de la presión del vapor es permitido evaporarse mientras que la evaporación del solvente bajo de la presión del vapor es limitada, preferiblemente controlando la atmósfera adyacente a la oblea. El solenoide reducido entonces se permite gelificarse en una concentración determinada por el cociente del alkoxide del metal al solvente bajo de la presión del vapor. Una ventaja de la actual invención es que proporciona un establo, solenoide spinnable para fijar espesor del film y proporcionar el buen terraplén del planarity y del boquete para las obleas modeladas. Además, sin embargo, el solenoide reducido se puede gelificar rápidamente de una concentración sabida del solenoide afinada a la densidad final deseada de la película fina del aerogel y en gran parte independiente de condiciones del espesor del film y de la vuelta.