A method for resetting a process recipe in a semiconductor factory automation (FA) system, includes the steps of: a) sending the process recipe and a lot identifier inputted from an operator to a process equipment, wherein the process recipe represents a set of semiconductor process conditions corresponding to a lot of semiconductor wafers and the lot identifier corresponds to the lot of semiconductor wafers; b) processing the lot of semiconductor wafers according to the process recipe; c) measuring the processed lot of semiconductor wafers to generate semiconductor measurement data; d) writing the semiconductor measurement data to a trace file, wherein the trace file includes the process recipe, the semiconductor measurement data and the lot identifier; e) retrieving the semiconductor measurement data contained in the trace file in response to a retrieval command inputted from the operator; and f) resetting the process recipe in response to a reset command inputted from the operator if the process recipe is not conformable, wherein the operator compares reference data with the retrieved semiconductor measurement data to determine whether the process recipe is conformable.

Метод для переустановить отростчатый recipe в системе автоматизации фабрики полупроводника (fa), вклюает шаги: a) посылающ отростчатые inputted recipe и много обозначение от оператора к отростчатому оборудованию, при котором отростчатый recipe представляет комплект обработок условий полупроводника соответствуя к множеству вафель полупроводника и обозначения серии соответствует к серии вафель полупроводника; б) обрабатывая серию вафель полупроводника согласно отростчатому recipe; ч) измеряя обрабатываемую серию вафель полупроводника для того чтобы произвести данные по измерения полупроводника; д) писать данные по измерения полупроводника к следу хранит, при котором архив следа вклюает отростчатый recipe, данные по измерения полупроводника и обозначение серии; е) retrieving данные по измерения полупроводника, котор содержат в следе хранит in response to команда возвращения inputted от оператора; и ф) отростчатый recipe in response to команда возврата inputted от оператора если отростчатый recipe не сообразн, то, при котором оператор сравнивает справочные данные с retrieved данными по измерения полупроводника для того чтобы обусловить ли отростчатый recipe сообразн.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Method and device for encoding data into high speed optical train

> Device and method for the regeneration of mixed ion exchange resin beds

> (none)

~ 00041