A method for resetting a process recipe in a semiconductor factory
automation (FA) system, includes the steps of: a) sending the process
recipe and a lot identifier inputted from an operator to a process
equipment, wherein the process recipe represents a set of semiconductor
process conditions corresponding to a lot of semiconductor wafers and the
lot identifier corresponds to the lot of semiconductor wafers; b)
processing the lot of semiconductor wafers according to the process
recipe; c) measuring the processed lot of semiconductor wafers to generate
semiconductor measurement data; d) writing the semiconductor measurement
data to a trace file, wherein the trace file includes the process recipe,
the semiconductor measurement data and the lot identifier; e) retrieving
the semiconductor measurement data contained in the trace file in response
to a retrieval command inputted from the operator; and f) resetting the
process recipe in response to a reset command inputted from the operator
if the process recipe is not conformable, wherein the operator compares
reference data with the retrieved semiconductor measurement data to
determine whether the process recipe is conformable.
Метод для переустановить отростчатый recipe в системе автоматизации фабрики полупроводника (fa), вклюает шаги: a) посылающ отростчатые inputted recipe и много обозначение от оператора к отростчатому оборудованию, при котором отростчатый recipe представляет комплект обработок условий полупроводника соответствуя к множеству вафель полупроводника и обозначения серии соответствует к серии вафель полупроводника; б) обрабатывая серию вафель полупроводника согласно отростчатому recipe; ч) измеряя обрабатываемую серию вафель полупроводника для того чтобы произвести данные по измерения полупроводника; д) писать данные по измерения полупроводника к следу хранит, при котором архив следа вклюает отростчатый recipe, данные по измерения полупроводника и обозначение серии; е) retrieving данные по измерения полупроводника, котор содержат в следе хранит in response to команда возвращения inputted от оператора; и ф) отростчатый recipe in response to команда возврата inputted от оператора если отростчатый recipe не сообразн, то, при котором оператор сравнивает справочные данные с retrieved данными по измерения полупроводника для того чтобы обусловить ли отростчатый recipe сообразн.
