A system for analyzing a film and detecting a defect associated therewith includes a scanning probe microscope having a nanotube tip with a material associated therewith which exhibits a characteristic that varies with respect to a film composition at a location corresponding to the nanotube tip. The system also includes a detection system for detecting the material characteristic and a controller operatively coupled to the detection system and the scanning probe microscope. The controller configured to receive information associated with the detected characteristic and use the information to determine whether the film contains a defect at the location corresponding to the nanotube tip. The invention also includes a method of detecting a film composition at a particular location of a film or substrate. The method includes associating a material exhibiting a characteristic which varies with respect to a film composition with a nanotube tip of a scanning probe microscope and detecting the characteristic. The method then includes the step of determining a composition of a portion of the film using the detected characteristic.

Ein System für das Analysieren eines Filmes und das Ermitteln eines Defektes, der damit verbindet, schließt ein Abtastungprüfspitze Mikroskop mit ein, das eine nanotube Spitze mit einem Material hat, das damit verbindet, das eine Eigenschaft ausstellt, die in Bezug auf einen Filmaufbau an einer Position schwankt, die der nanotube Spitze entspricht. Das System schließt auch ein Abfragung System für das Ermitteln das materielle charakteristische und ein Steuerpult wirksam verbunden zum Abfragung System und zum Abtastungprüfspitze Mikroskop ein. Der Kontrolleur, der zusammengebaut wurde, um Informationen zu erhalten, verband mit der ermittelten Eigenschaft und verwendet die Informationen, um festzustellen, ob der Film einen Defekt an der Position enthält, die der nanotube Spitze entspricht. Die Erfindung schließt auch eine Methode des Ermittelns eines Filmaufbaus an einer bestimmten Position eines Filmes oder des Substrates ein. Die Methode schließt das Verbinden eines Materials ein, das eine Eigenschaft ausstellt, die in Bezug auf einen Filmaufbau mit einer nanotube Spitze eines des Abtastungprüfspitze Mikroskops und Ermittelns der Eigenschaft schwankt. Die Methode schließt dann den Schritt der Bestimmung eines Aufbaus eines Teils des Filmes mit der ermittelten Eigenschaft ein.