A substrate conveying system wherein, at a substrate transfer position of a conveyance robot, a robot arm is moved upwardly at a normal speed from its lowermost position, and wherein the movement speed is changed to a lower speed at a predetermined position. During upward motion at the lower speed, the substrate is received and, while continuing the upward motion, the movement speed is changed back to the normal speed, at a second predetermined position. The robot arm continues its upward motion to its topmost position, with this normal speed.

Ein Substrat, das System übermittelt, worin, in einer Substratübergangsposition eines Beförderungroboters, ein Roboterarm aufwärts mit einer normalen Geschwindigkeit von seiner lowermost Position verschoben wird und worin die Bewegung Geschwindigkeit zu einer niedrigeren Geschwindigkeit in einer vorbestimmten Position geändert wird. Während der aufwärts Bewegung mit der niedrigeren Geschwindigkeit, wird das Substrat empfangen und, beim Fortsetzen der aufwärts Bewegung, die Bewegung Geschwindigkeit zurück zu der normalen Geschwindigkeit geändert wird, in einer zweiten vorbestimmten Position. Der Roboterarm setzt seine aufwärts Bewegung in seine oberste Position, mit dieser normalen Geschwindigkeit fort.