Microelectromechanical structures (MEMS) are provided that are adapted to controllably move mirrors in response to selective thermal actuation. In one embodiment, the MEMS moveable mirror structure includes a thermally actuated microactuator adapted to controllably move along a predetermined path substantially parallel to the first major surface of an underlying microelectronic substrate. A mirror is adapted to move accordingly with the microactuator between a non-actuated and an actuated position. In all positions, the mirror has a mirrored surface disposed out of plane relative to the first major surface of the microelectronic substrate. The microactuator provided herein can include various thermal arched beam actuators, thermally actuated composite beam actuators, arrayed actuators, and combinations thereof. The MEMS moveable mirror structure can also include a mechanical latch and/or an electrostatic latch for controllably clamping the mirror in position. A MEMS moveable mirror array is also provided which permits individualized control of each individual MEMS moveable mirror structure within the array. The MEMS moveable mirror structures and the associated arrays can be used in a variety of applications including applications involving the controlled redirection of electromagnetic radiation. Accordingly, a method of redirecting electromagnetic radiation is provided. A method of fabricating MEMS moveable mirror structures is further provided.

Структуры Microelectromechanical (MEMS) provided that приспособьтесь к controllably зеркалам движения in response to селективное термально возбуждение. В одно воплощение, структура зеркала MEMS подвижная вклюает термально сработанное microactuator приспособленное к controllably движению вдоль предопределенного курса существенн параллельного к первой главной поверхности основного микроэлектронного субстрата. Зеркало приспособлено для того чтобы двинуть соответственно с microactuator между нон-srabotannym и сработанным положением. В всех положениях, зеркало имеет отраженную поверхность размещанную из плоскости по отношению к первой главной поверхности микроэлектронного субстрата. Microactuator обеспеченное здесь может включить различные термально сдобренные приводы луча, термально сработанные составные приводы луча, одетые приводы, и комбинации thereof. Структура зеркала MEMS подвижная может также включить механически защелку and/or электростатическую защелку для controllably зажимать зеркало в положение. Блок зеркала MEMS подвижной также предусмотрен которые разрешения индивидуализировали управление каждой индивидуальной структуры зеркала MEMS подвижной в пределах блока. Структуры зеркала MEMS подвижные и associated блоки можно использовать в разнообразии применений включая применения включая controlled redirection электромагнитного излучения. Соответственно, обеспечен метод перенаправлять электромагнитное излучение. Метод изготовлять структуры зеркала MEMS подвижные более добавочно обеспечен.