A method for controlling an amount of material delivered during a material transfer. This method includes the steps of inputting a target amount for a material to be delivered from a source location to a target location, updating the target amount during the delivery of the material using a predictive model-based algorithm, and updating the predictive model-based algorithm based on process performance data using a recursive least-squares procedure. An adaptive selection algorithm which is used to determine whether at least one previous predictive model-based algorithm parameter should be replaced with at least one new predictive model-based algorithm parameter in order to adapt the predictive model-based algorithm in response to a process change. A method for overlapping a delivery of at least one independently measured material with a delivery of a main material during a material transfer process.

Eine Methode für das Steuern einer Menge Materials geliefert während einer materiellen Übertragung. Diese Methode schließt die Schritte des Eingebens einer Zielmenge ein, damit ein Material von einer Quellposition an eine Zielposition geliefert werden kann und die Zielmenge während der Anlieferung des Materials mit einem vorbestimmten Modell-gegründeten Algorithmus aktualisieren, und den vorbestimmten Modell-gegründeten Algorithmus aktualisierend, der auf Prozeßleistung Daten mit einem rekursiven least-squares Verfahren basiert. Ein anpassungsfähiger Vorwähleralgorithmus, der verwendet wird, um festzustellen, ob mindestens ein vorhergehender vorbestimmter Modell-gegründeter Algorithmusparameter mit mindestens einem neuen vorbestimmten Modell-gegründeten Algorithmusparameter ersetzt werden sollte, um den vorbestimmten Modell-gegründeten Algorithmus in Erwiderung auf eine Prozeßänderung anzupassen. Eine Methode für die Überschneidung einer Anlieferung von mindestens einem unabhängig gemessenen Material mit einer Anlieferung eines Hauptmaterials während eines materiellen Übergangsprozesses.