There is provided an array of fluoro-substituted silsesquioxane thin film precursors having a structure wherein fluoro groups are bonded to the silicon atoms of a silsesquioxane cage. In a first aspect, the present invention provides a composition comprising a vaporized material having the formula [F--SiO.sub.1.5 ].sub.x [H--SiO.sub.1.5 ].sub.y, wherein x+y=n, n is an integer between 2 and 30, x is an integer between 1 and n and y is a whole number between 0 and n. Also provided are films made from these precursors and objects comprising these films.

Обеспечено блок флуоро-zamenennyx прекурсоров тонкой пленки silsesquioxane имея структуру при котором скрепляют группы fluoro к атомам кремния клетки silsesquioxane. В первом аспекте, присытствыющий вымысел обеспечивает состав состоя из испаренного материала имея формулу [ ф -- SiO.sub.1.5 ].sub.x [ ю -- SiO.sub.1.5 ].sub.y, при котором x+y=n, н будет интежером между 2 и 30, х будет интежер между 1 и н и ы будут whole number между 0 и н. Также обеспечены пленки сделанные от этих прекурсоров и предметов состоя из этих пленок.