A micro electro-mechanical systems device having variable capacitance is controllable over the full dynamic range and not subject to the "snap effect" common in the prior art. The device features an electrostatic driver (120) having a driver capacitor of fixed capacitance (121) in series with a second driver capacitor of variable capacitance (126). A MEMS variable capacitor (130) is controlled by applying an actuation voltage potential to the electrostatic driver (120). The electrostatic driver (120) and MEMS variable capacitor (130) are integrated in a single, monolithic device.

Un dispositif électromécanique micro de systèmes ayant la capacité variable est contrôlable sur la pleine gamme dynamique et pas sujet au terrain communal "d'effet instantané" dans l'art antérieur. Le dispositif comporte un conducteur électrostatique (120) ayant un condensateur de conducteur de la capacité fixe (121) en série avec un deuxième condensateur de conducteur de la capacité variable (126). Un condensateur variable de MEMS (130) est commandé en s'appliquant un potentiel de tension de mise en action au conducteur électrostatique (120). Le conducteur électrostatique (120) et le condensateur variable de MEMS (130) sont intégrés dans un dispositif simple et monolithique.