In a method of manufacturing a thin film, a buffer layer is formed a substrate. Thereafter, a ferroelectric thin film material is applied thereto before thermally decomposing the buffer layer. Subsequently, the buffer layer and the ferroelectric thin film are decomposed together. Finally, a crystallized thermal process is performed.

В методе изготовлять тонкую пленку, слой буфера сформирован субстрату. В дальнейшем, ferroelectric тонкий отснятый материал приложен к тому перед термально разлагать слой буфера. Затем, слой буфера и ferroelectric тонкая пленка разложены совместно. Окончательно, выкристаллизовыванный термально процесс выполнен.