A compact externally pressurized gas bearing spindle assembly can increase the degree of vacuum in a vacuum chamber. In a spindle assembly wherein a rotary shaft is provided in a housing through a bearing gap, and compressed gas is introduced into the bearing gap to support the rotary shaft in a non-contact manner relative to the housing, an exhaust gas suction device for sucking gas discharged from the bearing gap is provided inside the housing or the rotary shaft. The bearing gap near the outside of the housing is smaller than the other bearing gap. Near the bearing gap near the outside of the housing, a non-contact seal gap is formed to prevent leakage of compressed gas into the vacuum chamber in a non-contact manner.

Um conjunto externamente pressurizado do eixo do rolamento do gás do estojo compacto pode aumentar o grau de vácuo em uma câmara do vácuo. Em um conjunto do eixo wherein um eixo giratório é fornecido em uma carcaça com uma abertura do rolamento, e no gás comprimido é introduzido na abertura do rolamento para suportar o eixo giratório em uma maneira non-contact relativo à carcaça, um dispositivo de sucção do gás de exaustão para sugar o gás descarregado da abertura do rolamento é fornecido dentro da carcaça ou do eixo giratório. A abertura do rolamento perto da parte externa da carcaça é menor do que a outra abertura do rolamento. Perto da abertura do rolamento perto da parte externa da carcaça, uma abertura non-contact do selo é dada forma para impedir o escapamento de gás comprimido na câmara do vácuo em uma maneira non-contact.