Transmission characteristics of an optical device 200, fabricated from
multiple layers 16, 27, 28 of silica-based glass on a silicon substrate
26, are modified by localized thermal treatment. The beam 501 of a
carbon-dioxide (CO.sub.2) laser 510 is used to selectively soften the core
and/or cladding material of a waveguide structure during or after the
fabrication process. In one application, softening relieves the strain
developed between the waveguide structure and the silicon substrate and
substantially reduces or eliminates birefringence. In a second
application, the CO.sub.2 laser is operated at another power level in
order to modify the index of refraction. Changes in the index of
refraction change the speed of light through a waveguide thereby changing
the phase shift associated with the waveguide. In a third application, the
CO.sub.2 laser is operated at yet another power level to increase the
transmission loss of the waveguide. In all of the embodiments, heat
treatment is substantially faster and/or less expensive than known
techniques for modifying the transmission characteristics of an optical
device.
Las características de la transmisión de un dispositivo óptico 200, fabricadas de múltiplo acodan 16, 27, 28 de cristal silicona-basado en un substrato 26 del silicio, son modificadas por el tratamiento termal localizado. La viga 501 de un laser 510 del anhídrido carbónico (CO.sub.2) se utiliza para ablandar selectivamente la base y/o el material del revestimiento de una estructura de la guía de onda durante o después del proceso de la fabricación. En un uso, el ablandar releva la tensión desarrollada entre la estructura de la guía de onda y el substrato del silicio y substancialmente reduce o elimina birrefringencia. En un segundo uso, el laser CO.sub.2 se funciona en otro nivel de la energía para modificar índice de refracción. Los cambios en índice de refracción cambian la velocidad de la luz a través de una guía de onda de tal modo que cambia el desplazamiento de fase asociado a la guía de onda. De un tercer uso, el laser CO.sub.2 se funciona en otro nivel de la energía para aumentar la pérdida de transmisión de la guía de onda. En todas las encarnaciones, el tratamiento de calor es substancialmente más rápido y/o menos costoso que las técnicas sabidas para modificar las características de la transmisión de un dispositivo óptico.
