A multi-layered mirror has a substrate, a first layer of a first substance, a second layer of a second substance. The refractive index of the first substance in a utilized wavelength region is different from that of the second substance. The first and second layers are laminated alternately on the substrate. To obtain a high reflectivity and superior optical characteristics, a multi-layered structure is formed within either the first layer or the second layer using at least two substances whose real parts of the complex indices of refraction in the utilized wavelength region are approximately the same. Alternatively, a layer surface is smoothed before forming a next layer thereon. An exposure apparatus that uses multi-layered mirrors of the present invention uses light with higher efficiency.

Multi-layered зеркало имеет субстрат, первый слой первого вещества, второй слой второго вещества. Рефрактивный индекс первого вещества в использованной зоне длины волны отличает индексиз второго вещества. Первые и вторые слои прокатаны друг на субстрате. Для того чтобы получить высокую отражательную способность и главные оптически характеристики, multi-layered структура сформирована в пределах или первого слоя или второго слоя использующ по крайней мере 2 вещества части которого реальные сложных индексов рефракции в использованной зоне длины волны приблизительно этими же. Друг, поверхность слоя приглажена перед формировать следующий слой thereon. Прибор выдержки использует multi-layered зеркала присытствыющего вымысла использует свет с высокийа организационно-технический уровень.