A method and system for making a gas permeable shell in a micro electromechanical systems (MEMS) device is disclosed. The MEMS device is created with an internal sacrificial layer. The device is then coated with a slurry composition which, after drying, is later exposed to a solvent. As a result, the sacrificial layer is removed to produce interconnected voids.

Показаны метод и система для делать газом проницаемую раковину в микро- электроом-механическ приспособлении систем (MEMS). Приспособление MEMS создано с внутренне жертвенным слоем. Приспособление после этого покрыно с составом slurry, после сушить, более поздно подвергается действию к растворителю. В результате, жертвенный слой извлекается к свободным пространствам соединенным продукцией.