A method of hybrid integration of optical and electronic devices is
disclosed. Optical waveguides and electrical interconnections are formed
on a substrate coated with a photosensitive core layer sandwiched between
an inner cladding layer and outer cladding layer, after mounting the
devices within one or more recesses carved in the substrate and the coated
layers. Adaptive lithography is used to create the desired pattern of
waveguides and other deflecting optical elements within the core layer to
correspond with the positions of the optical and electronic devices
relative to the substrate.
Um método da integração hybrid de dispositivos óticos e eletrônicos é divulgado. Os waveguides óticos e as interconexões elétricas são dados forma em uma carcaça revestida com uma camada photosensitive do núcleo imprensada entre uma camada interna do cladding e a camada exterior do cladding, depois que montando os dispositivos dentro de um ou o mais rebaixo carved na carcaça e nas camadas revestidas. O lithography adaptável é usado criar o teste padrão desejado dos waveguides e outros elementos óticos deflexionando dentro do núcleo mergulham para corresponder com as posições dos dispositivos óticos e eletrônicos relativo à carcaça.