A technique for measuring the current, voltage and phase of a Radio Frequency (RF) power wave to an RF load, accounts for the finite length of the voltage and current pickups, and corrects for effects of standing wave components of voltage and current. Voltage and current are computed as complex functions of the voltage pickup signal and the current pickup signal, based on coefficients precalibrated for the predetermined radio frequency. Alternatively, a corrected current value can based on the corrected voltage value and complex load impedance. The correction coefficients can be obtained, for each of a plurality of calibrating radio frequencies within an RF range, from voltage and current pickup signals under conditions of (a) open circuit load, (b) short circuit load, (c) fixed known impedance load; and (d) one of voltage and current being applied at a precise input level to a known load from an RF calibration source.

Μια τεχνική για το ρεύμα, η τάση και η φάση ενός κύματος ισχύος ραδιοσυχνότητας (RF) σε ένα RF φορτώνουν, απολογισμοί για το πεπερασμένο μήκος της τάσης και τρέχουσες επαναλείψεις, και διορθώνουν για τα αποτελέσματα των μόνιμων τμημάτων κυμάτων της τάσης και του ρεύματος. Η τάση και το ρεύμα υπολογίζονται ως σύνθετες λειτουργίες του σήματος επαναλείψεων τάσης και το τρέχον σήμα επαναλείψεων, βασισμένες στους συντελεστές για την προκαθορισμένη ραδιοσυχνότητα. Εναλλακτικά, μια διορθωμένη τρέχουσα αξία μπορεί βασισμένος στη διορθωμένη τάση να εκτιμήσει και τη σύνθετη σύνθετη αντίσταση φορτίων. Οι συντελεστές διορθώσεων μπορούν να ληφθούν, για κάθε μια από μια πολλαπλότητα της βαθμολόγησης των ραδιοσυχνοτήτων μέσα σε μια σειρά RF, από την τάση και τα τρέχοντα σήματα επαναλείψεων υπό τους όρους (α) του φορτίου ανοικτών κυκλωμάτων, (β) σύντομο φορτίο κυκλωμάτων, (γ) σταθερό γνωστό φορτίο σύνθετης αντίστασης και (δ) μια από το εφαρμογή της τάσης και τρέχοντα σε ακριβές επίπεδο εισαγωγής σε ένα γνωστό φορτίο από μια πηγή βαθμολόγησης RF.