Systems and methods for managing automated material handling systems, such as semiconductor fabrication facilities, using material item (e.g., wafer lot) attributes and cassette attributes are provided. A semiconductor fabrication facility typically includes multiple wafer lots and multiple cassettes for storing the wafer lots. A system and method, in one embodiment of the invention, includes setting one or more lot attributes for each wafer lot, setting one or more cassette attributes for each cassette, and selecting a particular cassette for holding a particular wafer lot based on the one or more wafer lot attributes of the particular wafer lot and the one or more cassette attributes of the particular cassette. The wafer lot and cassette attributes may, for example, include an attribute identifying a position in a fabrication sequence and one or more attributes indicative of one or more contaminants. By selecting cassettes in this manner, wafer lots and cassettes may, for example, be classified or logically zoned.

Los sistemas y los métodos para manejar sistemas de tramitación material automatizados, tales como instalaciones de la fabricación del semiconductor, usando cualidades materiales del artículo (e.g., porción de la oblea) y cualidades del cassette se proporcionan. Una facilidad de la fabricación del semiconductor incluye típicamente porciones múltiples de la oblea y los cassettes múltiples para almacenar las porciones de la oblea. Un sistema y un método, en una encarnación de la invención, incluye fijar uno o más las cualidades de la porción para cada porción de la oblea, fijar unas o más cualidades del cassette para cada cassette, y seleccionar un cassette particular para llevar a cabo una porción particular de la oblea basada en las unas o más cualidades de la porción de la oblea de la porción particular de la oblea y las unas o más cualidades del cassette del cassette particular. Las cualidades de la porción y del cassette de la oblea pueden, por ejemplo, incluir una cualidad que identifica una posición en una secuencia de la fabricación y unas o más cualidades indicativas de unos o más contaminantes. Seleccionando los cassettes de este modo, las porciones y los cassettes de la oblea pueden, por ejemplo, ser clasificados o ser divididos en zonas lógicamente.