An electric heating element formed on an insulating ceramic substance includes and electrically heat-generating material film having a microstructure composed of a silicide alone, a mixture of silicide and Si, or Si along fused to the surface of sintered nitride or carbide ceramic insulating substrate. A heating mechanism is coupled with the bottom face of an electrostatically chucking mechanism provided with a dielectric ceramic and electrodes formed on the bottom face of face of the heating mechanism. The heating mechanism has a fusable electric-heating material film between two ceramic insulting substrates having the same or nearly the same coefficients of thermal expansion. The films is fused to the substrates.

Un elemento riscaldante elettrico ha formato su una sostanza di ceramica isolante include ed elettricamente pellicola materiale termogena che ha una microstruttura composta di silicide da solo, una miscela di silicide e silicone, o silicone avanti fuso alla superficie del substrato isolante di ceramica sinterizzato del carburo o del nitruro. Un meccanismo del heating è accoppiato con la faccia inferiore di un meccanismo elettrostaticamente bloccante fornito di un di ceramica dielettrico e degli elettrodi formati sulla faccia inferiore della faccia del meccanismo del heating. Il meccanismo del heating ha una pellicola materiale del elettrico-electric-heating fusable fra due substrati insultanti di ceramica che hanno lo stessa o quasi gli stessi coefficenti di espansione termica. Le pellicole è fusa ai substrati.