An integrated two-dimensional tunable filter array for a matrix of
fiber-optic input-output light channels includes a tunable filter chip
array sandwiched between a first semiconductive wafer in which the guiding
grooves for the input light channels terminate in a 45.degree. reflecting
surface causing a 90.degree. turn of the light beams into each tunable
filter of the array. Then a third semiconductive substrate is bonded to
the other side of the tunable filter array to receive the reflected light
beams. A 45.degree. mirror on a {111} plane may be formed by slow etching
of a {100} type wafer or the use of a {100} type wafer with a 9.7.degree.
off axis cut.
Un arsenal armonioso de dos dimensiones integrado del filtro para una matriz de los canales ligeros de la entrada-salida fiber-optic incluye un arsenal armonioso de la viruta del filtro intercalado entre una primera oblea semiconductive en la cual los surcos de guía para los canales ligeros de la entrada terminen en una superficie de reflejo 45.degree. que causa una vuelta 90.degree. de los rayos de luz en cada filtro armonioso del arsenal. Entonces un tercer substrato semiconductive se enlaza al otro lado del arsenal armonioso del filtro para recibir los rayos de luz reflejados. Un espejo 45.degree. en el plano de a {111} se puede formar por la aguafuerte lenta del tipo oblea o el uso de a {100} del tipo oblea de a {100} con un 9.7.degree. de corte del eje.