An illumination system and exposure apparatus and method involving illuminating a surface over an illumination field (IF) having an arcuate shape. The illumination system comprises a light source (54) for providing a light beam (100), and an optical integrator (56). The optical integrator comprises a first reflective element group (60) having an array of first optical elements (E) each having an arcuate profile corresponding to the arcuate shape of the illumination field. Each of the first optical elements has an eccentric reflecting surface (RS.sub.E) comprising an off-axis section of either a spherical surface (S) or an aspherical surface (AS.sub.E). The array of first optical elements is designed so as to form a plurality of arcuate light beams (I) capable of forming a plurality of light source images (I). The illumination system further includes a condenser optical system (64) designed so as to condense said plurality of arcuate light beams to illuminate the surface over the arcuate illumination field in an overlapping manner.

Система освещения и прибор и метод выдержки включая освещающ поверхность над полем освещения (ЕСЛИ), то имея аркуатную форму. Система освещения состоит из источника света (54) для обеспечивать световой луч (100), и оптически интегратора (56). Оптически интегратор состоит из первой отражательной группы элемента (60) имея блок первых оптически элементов (E) каждого иметь аркуатный профиль соответствовать к аркуатной форме поля освещения. Каждый из первых оптически элементов имеет ексцентрическую отражая поверхность (RS.sub.E) состоять из раздела-OSI или сферически поверхности (S) или асферической поверхности (AS.sub.E). Блок первых оптически элементов конструирован для того чтобы сформировать множественность аркуатных световых лучей (I) способных формировать множественность изображений источника света (i). Система освещения более дальнейшая вклюает систему конденсатора оптически (64) конструированную для того чтобы сконденсировать сказанную множественность аркуатных световых лучей для того чтобы осветить поверхность над аркуатным полем освещения в перекрывая образе.