An exposure apparatus capable of minimizing low-frequency noise intruding into a chamber from the outside, wherein a partition of the chamber comprises a structure formed by sandwiching a ceramic honeycomb structural material (18) between a pair of steel or aluminum plates (16), the partition having a very high sound-proofing effect against low-frequency noise owing to its rigidity.

Μια συσκευή έκθεσης ικανή τη χαμηλής συχνότητας παρείσφρυση θορύβου σε μια αίθουσα από το εξωτερικό, όπου ένα χώρισμα της αίθουσας περιλαμβάνει μια δομή που διαμορφώνεται με το στρίμωγμα ενός κεραμικού κυψελωτού δομικού υλικού (18) μεταξύ ενός ζευγαριού των πιάτων χάλυβα ή αργιλίου (16), το χώρισμα που έχει μια πολύ υψηλή sound-proofing επίδραση ενάντια στο χαμηλής συχνότητας θόρυβο εξ αιτίας της ακαμψίας του.