A method of imaging an integrated circuit using a focused ion beam system is presented. According to the method an integrated circuit is imaged in plan-view using a focused ion beam system. Circuit information is then extracted absent processing. In another embodiment, a method and system for imaging an entire IC automatically without removing the IC from the imaging system and requiring minimal operator intervention is presented. The method employs a focused ion beam system to image an exposed layer of an integrated circuit and then to etch a portion of the exposed layer in situ. Imaging and etching are repeated until substantially the entire integrated circuit is imaged. A processor is used to assemble the layers into a three-dimensional topography of the integrated circuit. Because of known relationships between layers, the mosaicing is facilitated and the final topography is more reliable than those produced by currently known computer implemented methods.

Метод воображения интегрированная цепь используя сфокусированную систему луча иона. Согласно методу интегрированная цепь imaged в план-vzgl4de использующ сфокусированную систему луча иона. Данные по цепи после этого извлеченный отсутствующий обрабатывать. В другом воплощении, метод и система для воображения весь IC автоматически без извлекать IC от системы воображения и требовать минимальной интервенции оператора. Метод использует сфокусированную систему луча иона к изображению, котор подвергли действию слой интегрированной цепи и после этого вытравить часть, котор подвергли действию слоя in situ. Воображение и вытравливание повторены до тех пор пока существенн вся интегрированная цепь не быть imaged. Обработчик использован для того чтобы собрать слои в трехмерную топографию интегрированной цепи. Из-за знанных отношений между слоями, облегчен mosaicing и окончательная топография более надежна чем топографипроизведенная в настоящее время знанными методами снабженными компьютером.