A system including confocal and triangulation-based scanners or subsystems provides data which is both acquired and processed under the control of a control algorithm to obtain information such as dimensional information about microscopic targets which may be "noncooperative." The "non-cooperative" targets are illuminated with a scanning beam of electromagnetic radiation such as laser light incident from a first direction. A confocal detector of the electromagnetic radiation is placed at a first location for receiving reflected radiation which is substantially optically collinear with the incident beam of electromagnetic radiation. The system includes a spatial filter for attenuating background energy. The triangulation-based subsystem also includes a detector of electromagnetic radiation which is placed at a second location which is non-collinear with respect to the incident beam. This detector has a position sensitive axis. Digital data is derived from signals produced by the detectors. In this way, data from at least one triangulation-based channel is acquired in parallel or sequentially with at least one slice of confocal image data having substantially perfect temporal and spatial registration with the triangulation-based sensor data. This allows for fusion or further processing of the data for use with a predetermined measurement algorithm to thereby obtain information about the targets.

Ένα σύστημα συμπεριλαμβανομένων των ομοεστιακών και τρηανγuλατηον-βασισμένων ανιχνευτών ή των υποσυστημάτων παρέχει το στοιχείο που και αποκτιέται και υποβάλλεται σε επεξεργασία υπό έλεγχο ενός αλγορίθμου ελέγχου για να λάβει τις πληροφορίες όπως οι διαστατικές πληροφορίες για τους μικροσκοπικούς στόχους που μπορούν να είναι "μη συνεταιριστικοί." Οι "μη συνεταιριστικοί" στόχοι είναι φωτισμένοι με μια ακτίνα ανίχνευσης της ηλεκτρομαγνητικής ακτινοβολίας όπως το ελαφρύ γεγονός λέιζερ από μια πρώτη κατεύθυνση. Ένας ομοεστιακός ανιχνευτής της ηλεκτρομαγνητικής ακτινοβολίας τοποθετείται σε μια πρώτη θέση για τη λήψη της απεικονισμένης ακτινοβολίας που είναι ουσιαστικά οπτικά collinear με τη συναφή ακτίνα της ηλεκτρομαγνητικής ακτινοβολίας. Το σύστημα περιλαμβάνει ένα χωρικό φίλτρο για τη μείωση της ενέργειας υποβάθρου. Το τρηανγuλατηον-βασισμένο υποσύστημα περιλαμβάνει επίσης έναν ανιχνευτή της ηλεκτρομαγνητικής ακτινοβολίας που τοποθετείται σε μια δεύτερη θέση που είναι μη-θολληνεαρ όσον αφορά τη συναφή ακτίνα. Αυτός ο ανιχνευτής έχει έναν ευαίσθητο άξονα θέσης. Το ψηφιακό στοιχείο προκύπτει από τα σήματα που παράγονται από τους ανιχνευτές. Κατ' αυτό τον τρόπο, το στοιχείο από τουλάχιστον ένα τρηανγuλατηον-βασισμένο κανάλι είναι επίκτητος παράλληλα παράλληλος ή διαδοχικά με τουλάχιστον μια φέτα των ομοεστιακών στοιχείων εικόνας που έχουν την ουσιαστικά τέλεια χρονική και χωρική εγγραφή με τα τρηανγuλατηον-βασισμένα στοιχεία αισθητήρων. Αυτό επιτρέπει την τήξη ή η περαιτέρω επεξεργασία των στοιχείων για τη χρήση με έναν προκαθορισμένο αλγόριθμο μέτρησης με αυτόν τον τρόπο λαμβάνει τις πληροφορίες για τους στόχους.