The invention relates to an apparatus for growing thin films onto the surface of a substrate by exposing the substrate to alternately repeated surface reactions of vapor-phase reactants. The apparatus comprises at least one process chamber having a tightly sealable structure, at least one reaction chamber having a structure suitable for adapting into the interior of said process chamber and comprising a reaction space of which at least a portion is movable, infeed means connectable to said reaction space for feeding said reactants into said reaction space, and outfeed means connectable to said reaction space for discharging excess reactants and reaction gases from said reaction space, and at least one substrate adapted into said reaction space. At least one loading chamber is arranged to cooperate with said process chamber so as to permit said reaction space or a portion thereof to be moved into said process chamber and away from said process chamber and, further, the operating pressure of the loading chamber is arranged to be controllable independently from said pressure chamber.

A invenção relaciona-se a um instrumento para crescer películas finas na superfície de uma carcaça expondo a carcaça às reações de superfície alternadamente repetidas de reactants da vapor-fase. O instrumento compreende ao menos uma câmara process que tem uma estrutura firmemente sealable, ao menos uma câmara da reação que tem uma estrutura apropriada para adaptar-se no interior de câmara process dita e compreender um espaço da reação de que ao menos uma parcela é móvel, infeed significa connectable a espaço dito da reação para reactants ditos de alimentação em espaço dito da reação, e outfeed os meios connectable a espaço dito da reação para descarregar reactants e gáses de reação adicionais de espaço dito da reação, e ao menos uma carcaça adaptou-se em espaço dito da reação. Ao menos uma câmara de carregamento é arranjada para cooperar com a câmara process dita para permitir disso espaço dito da reação ou uma parcela a ser movida em câmara process dita e afastado de câmara process dita e, mais mais, da pressão se operando da câmara do carregamento é arranjado para ser controllable independentemente de câmara de pressão dita.