The present invention relates to a system for measuring a linewidth or profile of a feature and comprises a scanning probe microscope having a nanotube scanning tip. The nature of the nanotube scanning tip provides high resolution and accurate measurements which is generally independent of a wearing thereof. The present invention also relates to a method of measuring a linewidth of profile of a feature and comprises the steps of scanning a portion of the feature on the substrate with a scanning probe microscope comprising a nanotube scanning tip and detecting a characteristic associated with the nanotube scanning tip. The method also comprises determining a characteristic associated with the portion of the feature on the substrate based on the detected nanotube scanning tip characteristic. Lastly, the present invention relates to a method of detecting a partially open contact hole and comprises scanning a region containing the contact hole with a scanning probe microscope comprising a nanotube scanning tip. The method further comprises generating topography data associated with the scanning step and determining whether the contact hole is fully open using the topography data.

Die anwesende Erfindung bezieht auf einem System für das Messen eines Linewidth oder des Profils einer Eigenschaft und enthält ein Abtastungprüfspitze Mikroskop, das eine nanotube Abtastungspitze hat. Die Natur der nanotube Abtastungspitze liefert hohe Auflösung und genaue Maße, die im Allgemeinen von davon tragen unabhängig ist. Die anwesende Erfindung auch bezieht auf einer Methode des Messens eines Linewidth des Profils einer Eigenschaft und enthält die Schritte vom Ablichten eines Teils der Eigenschaft auf dem Substrat mit einem Abtastungprüfspitze Mikroskop, das eine nanotube Abtastungspitze enthält und eine Eigenschaft ermittelt, die mit der nanotube Abtastungspitze verbunden ist. Die Methode enthält auch die Bestimmung einer Eigenschaft, die mit dem Teil der Eigenschaft auf dem Substrat verbunden ist, das auf der ermittelten nanotube Abtastung-Spitzeeigenschaft basiert. Zuletzt bezieht die anwesende Erfindung auf einer Methode des Ermittelns einer teilweise geöffneten Kontaktbohrung und enthält das Ablichten einer Region, welche die Kontaktbohrung mit einem Abtastungprüfspitze Mikroskop enthält, das eine nanotube Abtastungspitze enthält. Die Methode, die weiter ist, enthält das Erzeugen der Topographiedaten, die mit dem Abtastungschritt verbunden sind und die Bestimmung, ob die Kontaktbohrung mit den Topographiedaten völlig geöffnet ist.