This invention provides a method of fabricating a thin-film photovoltaic module having a structure in which a plurality of thin films are stacked. This method includes postulating a substrate temperature during laser scribing for each thin film, determining a scanning pattern by taking account of the size of the substrate at the postulated temperature, and dividing each thin film in accordance with the scanning pattern while keeping the substrate temperature at the postulated temperature or a temperature in its neighborhood.

Αυτή η εφεύρεση παρέχει μια μέθοδο μια λεπτή φωτοβολταϊκή ενότητα που έχει μια δομή στην οποία μια πολλαπλότητα των λεπτών ταινιών συσσωρεύεται. Αυτή η μέθοδος περιλαμβάνει να θέσει ως αίτημα μια θερμοκρασία υποστρωμάτων κατά τη διάρκεια του λέιζερ χαράζοντας για κάθε λεπτή ταινία, καθοριστικός ένα σχέδιο ανίχνευσης με να λάβει υπόψη το μέγεθος του υποστρώματος στην τεθειμένη ως αίτημα θερμοκρασία, και τη διαίρεση κάθε λεπτής ταινίας σύμφωνα με το σχέδιο ανίχνευσης κρατώντας τη θερμοκρασία υποστρωμάτων στην τεθειμένη ως αίτημα θερμοκρασία ή μια θερμοκρασία στη γειτονιά της.