A person-guided vehicle (PGV) is provided for transporting and manipulating
at least one carrier containing items such as semiconductor wafers to be
loaded or unloaded at a load port. The PGV includes a wheeled cart having
a frame configured to align with the load port. A carrier support assembly
is mounted to the frame. The carrier support assembly includes a cradle
configured to support the carrier, a lifting mechanism operative to raise
and lower the cradle vertically, and a horizontal slide mechanism
operative to move the cradle horizontally to and from a position outboard
of the cart. A damping system is coupled to the cart and operative to
dampen vibrations of the carrier in the carrier support assembly. One side
of the cart is free of structural members to allow operator access to the
carrier support assembly and to allow ready manipulation of the cart by
the operator.
Un véhicule personne-guidé (PGV) est donné pour transporter et manoeuvrer au moins un porteur contenant des articles tels que des gaufrettes de semi-conducteur à charger ou être déchargées à un port de charge. Le PGV inclut un chariot roulé faisant configurer une armature pour aligner avec le port de charge. Un bloc support de porteur est monté à l'armature. Le bloc support de porteur inclut un berceau configuré pour soutenir le porteur, un employé de levage de mécanisme pour soulever et abaisser le berceau verticalement, et un employé horizontal de mécanisme de glissière pour déplacer le berceau horizontalement à et d'une position à l'extérieur du chariot. Un système d'atténuation est couplé au chariot et à l'employé pour amortir des vibrations du porteur dans le bloc support de porteur. Un côté du chariot est exempt de pièces de charpente pour permettre l'accès d'opérateur au bloc support de porteur et pour permettre la manipulation prête du chariot par l'opérateur.