A silicon-aluminum mixed oxide produced by flame hydrolysis and having a composition of from 1 to 99.999 wt. % Al.sub.2 O.sub.3, the remainder being SiO.sub.2, which mixed oxide exhibits an amorphous structure in the X-ray diffraction pattern and consists of intergrown primary particles, and in these primary particles crystallites are present. These crystallites having sizes of between one and 200 namometers and the specific surface of the powder being between 5 and 300 m.sup.2 /g. These products are produced by a process wherein silicon halide and aluminum halide are vaporized in a particular ratio to one another and are homogeneously mixed with air, oxygen and hydrogen in a mixing unit by means of any carrier gas, this mixture undergoes combustion in a burner of known construction and, after the separation of the solids from the vapour phase, any traces of halide possibly adhering to the product are separated off in a further processing step by means of moist air at elevated temperature. The silicon-aluminum mixed oxide produced by flame hydrolysis are used in the form of dispersions for polishing, in particular in the electronics industry (CMP).

Een silicium-aluminium mengde oxyde dat door vlamhydrolyse wordt geproduceerd en hebbend een samenstelling van van 1 tot 99.999 % gew. Al.sub.2 O.sub.3, is de rest die SiO.sub.2 is, welk gemengd oxyde een amorfe structuur in het X-ray diffractiepatroon tentoonstelt en uit intergrown primaire deeltjes bestaat, en in deze primaire deeltjes kristallieten aanwezig. Deze kristallieten die grootte van tussen één en 200 namometers en de specifieke oppervlakte van het poeder hebben die tussen 5 en 300 m.sup.2 zijn/g. Deze producten worden geproduceerd door een proces waarin het siliciumhalogenide en het aluminiumhalogenide in een bepaalde verhouding aan elkaar worden gelaten verdampen en met lucht, zuurstof en waterstof in een het mengen zich eenheid door middel van om het even welk draaggas homogeen gemengd, ondergaat dit mengsel verbranding in een brander van bekende bouw en, na de scheiding van de vaste lichamen van de dampfase, zijn om het even welke sporen die van halogenide misschien het product aanhangen weg gescheiden in een verdere verwerkingsstap door middel van vochtige lucht bij opgeheven temperatuur. Het silicium-aluminium gemengde oxyde dat door vlamhydrolyse wordt geproduceerd wordt gebruikt in de vorm van verspreiding voor het oppoetsen, in het bijzonder in de elektronische industrie (CMP).