A method and system for use in wafer fabrication systems. The method and system capture an evolving wafer fabrication system by mapping at least one interaction between a selected at least one integral part associated with the wafer fabrication system and at least one other integral part associated with the wafer fabrication system.

Eine Methode und ein System für Gebrauch in den Oblateherstellung Systemen. Die Methode und das System nehmen ein entwickelndes Oblateherstellung System gefangen, indem sie mindestens eine Interaktion zwischen einem vorgewählten mindestens einem wesentlichen Bestandteil abbilden, der mit dem Oblateherstellung System verbunden sind und mindestens einem anderen wesentlichen Bestandteil, der mit dem Oblateherstellung System verbunden ist.