The present invention provide an adhesive sheet for electrostatic chucking device having high heat resistance and to an electrostatic chucking device which causes little curvature of the ceramic board after application of heat and is excellent in heat resistance and adsorptity. The adhesive sheet of the present invention comprises a silicone resin elastic layer 11 and thermosetting adhesive layers 12 and 13 which are each laminated on the silicone resin elastic layer, wherein said thermosetting adhesive layers are composed of epoxy resin or phenol resin. The electrostatic chucking device of the present invention is produced by laminating an electrode and a ceramic layer having an adsorptive surface on a metal base in this order via the adhesive sheet of the present invention.

La presente invenzione fornisce un foglio adesivo per il dispositivo bloccante elettrostatico che ha alta resistenza termica e ad un dispositivo bloccante elettrostatico che le cause poca curvatura del bordo di ceramica dopo l'applicazione di calore ed è eccellenti nella resistenza termica ed in adsorptity. Il foglio adesivo di presente invenzione contiene uno strato elastico 11 della resina del silicone e gli strati adesivi termoindurenti 12 e 13 che ciascuno sono laminati sullo strato elastico della resina del silicone, in cui gli strati adesivi termoindurenti detti si compongono di resina a resina epossidica o di resina del fenolo. Il dispositivo bloccante elettrostatico di presente invenzione è prodotto laminando un elettrodo e uno strato di ceramica che hanno una superficie adsorbitiva su una base del metallo in questo ordine via il foglio adesivo di presente invenzione.