The apparatus for inspecting integrated circuits according to the present invention comprises: a test signal generating device that outputs an optical test signal; an optical distributor that distributes the optical test signal into a plurality of distributed optical signals by transmitting the optical test signal through a branching optical fiber network; and a plurality of pin cards each of which generates an electric test signal by performing phase adjustment of each distributed optical signal. The pin cards are arranged so as to apply the electrical test signals to pins of an integrated circuit to be inspected.

Het apparaat om geïntegreerde schakelingen volgens de onderhavige uitvinding te inspecteren bestaat uit: een testsignaal dat apparaat produceert die output een optisch testsignaal; een optische verdeler die het optische testsignaal in een meerderheid van verdeelde optische signalen door het optische testsignaal door een vertakkend optische vezelnetwerk over te brengen verdeelt; en een meerderheid van speldkaarten elk waarvan een elektrisch testsignaal door faseaanpassing van elk verdeeld optisch signaal uit te voeren produceert. De speldkaarten worden geschikt om de elektrotestsignalen op spelden van een te inspecteren geïntegreerde schakeling toe te passen.