A catadioptric lens barrel structure for a projection exposure apparatus includes first and second lens barrels, each having an optical axis which runs parallel to each other. The first and second lens barrels each have an optical pivot point. The lens barrel structure includes a transverse lens barrel connecting the first and second lens barrels. A reticle is placed in front of an entrance of the first lens barrels and a wafer is placed in front of an exit of the second lens barrel. The lens barrel structure further includes a support structure for supporting the plurality of lens barrels. The support structure is made of a material having a low coefficient of thermal expansion. The support structure firmly secures the first and second lens barrels near their corresponding optical pivot points to obtain maximum optical performance. Alternatively, the support structure may firmly secure the first and second lens barrels at their base portions to provide optimum structural support.

Une structure catadioptrique de baril d'objectif pour un appareillage d'exposition de projection inclut d'abord et les deuxièmes barils d'objectif, chacun qui a un axe optique qui court parallèle. Les premiers et deuxièmes barils d'objectif chacun ont un point optique de pivot. La structure de baril d'objectif inclut un baril d'objectif transversal reliant les premiers et deuxièmes barils d'objectif. Un réticule est placé devant une entrée des premiers barils d'objectif et une gaufrette est placée devant une sortie du deuxième baril d'objectif. La structure de baril d'objectif autre inclut une structure de soutènement pour soutenir la pluralité de barils d'objectif. La structure de soutènement est faite d'un matériel ayant un bas coefficient de dilatation thermique. La structure de soutènement fixe fermement les premiers et deuxièmes barils d'objectif près de leurs points optiques correspondants de pivot pour obtenir l'exécution optique maximum. Alternativement, la structure de soutènement peut fermement fixer les premiers et deuxièmes barils d'objectif à leurs parties de base pour fournir l'appui structural optimum.