There is provided an array of alkyl substituted silsesquioxane thin film precursors having a structure wherein alkyl groups are bonded to the silicon atoms of a silsesquioxane cage. The alkyl groups may be the same as, or different than the other alkyl groups. In a first aspect, the present invention provides a composition comprising a vaporized material having the formula [R--SiO.sub.1.5 ].sub.x [H--SiO.sub.1.5 ].sub.y, wherein x+y=n, n is an integer between 2 and 30, x is an integer between 1 and n and y is a whole number between 0 and n. R is a C.sub.1 to C.sub.100 alkyl group. Also provided are films made from these precursors and objects comprising these films.

Обеспечено блок замененных алкилом прекурсоров тонкой пленки silsesquioxane имея структуру при котором скрепляют алкиловые группы к атомам кремния клетки silsesquioxane. Алкиловые группы могут быть этими же как, или по-разному чем другие алкиловые группы. В первом аспекте, присытствыющий вымысел обеспечивает состав состоя из испаренного материала имея формулу [ р -- SiO.sub.1.5 ].sub.x [ ю -- SiO.sub.1.5 ].sub.y, при котором x+y=n, н будет интежером между 2 и 30, х будет интежер между 1 и н и ы будут whole number между 0 и N р будет C.sub.1 к алкиловой группе C.sub.100. Также обеспечены пленки сделанные от этих прекурсоров и предметов состоя из этих пленок.