A circulation fan apparatus including a hermetic vessel 1 containing a corrosive process gas therein, and a circulation fan 2 installed in the hermetic vessel, rotors 2-1, 2-2 of the circulation fan are rotatably supported by bearings, wherein the bearings comprises control-type radial magnetic bearings 4, 5 and at least control-type axial magnetic bearing 6, 7, displacement sensor targets 4-1, 5-1, 6-1, and 7-1 and rotor-side magnetic poles 4-2, 5-2, 6-2, and 7-2 of radial magnetic bearings 4 and 5 and axial magnetic bearings 6 and 7 are fixed to the rotors 2-1 and 2-2 of the circulation fan 2 and are disposed in the hermetic space communicating with the hermetic vessel, and displacement sensors 4-3, 5-3, 6-3, and 7-3 and stator-side magnetic poles 4-4, 5-4, 6-4, and 7-4 opposing the displacement sensor targets and rotor-side magnetic poles are disposed outside of the hermetic vessel with cans 14, 15, 17, and 18 interposed therebetween, whereby even when the circulation fan 2 is rotated at a high speed and under a high load, the process gas is not contaminated, ensuring maintenance-free operation, and furthermore, an installation space can be reduced.

Un appareillage de ventilateur de circulation comprenant un navire hermétique 1 contenant un gaz de processus corrosif là-dedans, et un ventilateur 2 de circulation ont installé dans le navire hermétique, rotors 2-1, 2-2 du ventilateur de circulation sont rotativement soutenus par des roulements, où les roulements comporte le commande-type les roulements magnétiques radiaux 4, 5 et au moins le commande-type roulement magnétique axial 6, 7, cibles de sonde de déplacement les pôles magnétiques de 4-1, de 5-1, de 6-1, et de 7-1 et de rotor-côté 4-2, 5-2, 6-2, et 7-2 de roulements magnétiques radiaux 4 et 5 et roulements magnétiques axiaux 6 et 7 sont fixés aux rotors 2-1 et 2-2 du ventilateur 2 de circulation et sont disposés dans hermétique l'espace communiquant avec le navire hermétique, et des sondes de déplacement des pôles magnétiques de 4-3, de 5-3, de 6-3, et de 7-3 et de redresseur-côté 4-4, 5-4, 6-4, et 7-4 s'opposant aux cibles de sonde de déplacement et aux pôles magnétiques de rotor-côté sont disposés en dehors de du navire hermétique avec les bidons 14, 15, 17, et 18 interposés therebetween, par lequel même lorsque le ventilateur 2 de circulation est tourné à une grande vitesse et sous une charge élevée, le gaz de processus ne soit pas souillé, assurant l'opération exempte d'entretien, et en outre, un espace d'installation puisse être réduit.