The disclosed is a method of producing two organic ruthenium compounds; i.e., bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium and (alkylcyclopentadienyl)cyclopentadienylruthenium, which are useful for producing thin film through CVD. In one aspect, the invention provides a method for producing bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium, including hydrogenating bis(acetylcyclopentadienyl)ruthenium in the presence of a catalyst. In another aspect, the invention provides a method of producing (alkylcyclopentadienyl)cyclopentadienylruthenium, including acylating bis(cyclopentadienyl)ruthenium with carboxylic anhydride in the presence of phosphoric acid as a catalyst, to thereby produce (acylcyclopentadienyl)cyclopentadienylruthenium, and reducing the (acylcyclopentadienyl)cyclopentadienyl ruthenium.

Αποκαλυπτόμενη είναι μια μέθοδος δύο οργανικές ruthenium ενώσεις bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium i.e., και (alkylcyclopentadienyl)cyclopentadienylruthenium, τα οποία είναι χρήσιμα για τη λεπτή ταινία μέσω cvd. Σε μια πτυχή, η εφεύρεση παρέχει μια μέθοδο για το bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium, συμπεριλαμβανομένης της υδρογονώσης του bis(acetylcyclopentadienyl)ruthenium παρουσία ενός καταλύτη. Σε μια άλλη πτυχή, η εφεύρεση παρέχει μια μέθοδο (alkylcyclopentadienyl)cyclopentadienylruthenium, συμπεριλαμβανομένου το bis(cyclopentadienyl)ruthenium με τον καρβοξυλικό ανυδρίτη παρουσία του φωσφορικού οξέος ως καταλύτη, για με αυτόν τον τρόπο να παραγάγει (acylcyclopentadienyl)cyclopentadienylruthenium, και μείωση (ruthenium acylcyclopentadienyl)cyclopentadienyl.