A wafer (22) is placed on an upper surface of a holder body (23), and the holder body is inserted into a plurality of holder-aimed concave recesses (14) formed on supporters (12) accommodated in a heat treatment furnace such that the holder body is held horizontally. The holder body is formed into a disk shape free of recessed cut portions, and the holder body is formed with an upwardly projecting ring-like projection (24) extending in the circumferential direction of the holder body around the axis of the holder body. The wafer holder is constituted such that the wafer is placed on the holder body while contacting with the upper surface of the projection, and such that the outer diameter of the projection is formed to be in a range of 0.5D to 0.98D wherein D is the diameter of the wafer, so that the outer periphery of the wafer is kept from contacting with the projection. Occurrence of slips in the wafer is restricted by preventing warpage of the holder body upon fabricating the holder body. Further, each of wafers having different diameters is assuredly held by the same holder body without deviating from a relevant predetermined position. Moreover, the working operations for loading and unloading the wafer to and from the holder body are smoothly conducted.

Μια γκοφρέτα (22) τοποθετείται σε μια ανώτερη επιφάνεια ενός σώματος κατόχων (23), και το σώμα κατόχων παρεμβάλλεται σε μια πολλαπλότητα των κάτοχος-στοχευμένων κοίλων κοιλοτήτων (14) που διαμορφώνονται στους υποστηρικτές (12) που φιλοξενούνται σε έναν φούρνο θερμικής επεξεργασίας έτσι ώστε το σώμα κατόχων κρατιέται οριζόντια. Το σώμα κατόχων διαμορφώνεται σε μια μορφή δίσκων χωρίς τοποθετημένες μερίδες περικοπών, και το σώμα κατόχων διαμορφώνεται με μια δακτυλιδοειδή προβολή upwardly προβολής (24) που επεκτείνεται στην περιφερειακή κατεύθυνση του σώματος κατόχων γύρω από τον άξονα του σώματος κατόχων. Ο κάτοχος γκοφρετών αποτελείται έτσι ώστε η γκοφρέτα τοποθετείται στο σώμα κατόχων ερχόμενος σε επαφή με με την ανώτερη επιφάνεια της προβολής, και έτσι ώστε η εξωτερική διάμετρος της προβολής διαμορφώνεται για να είναι σε μια σειρά 0.5D σε 0.98D όπου το δ είναι η διάμετρος της γκοφρέτας, έτσι ώστε η εξωτερική περιφέρεια της γκοφρέτας κρατιέται από την επαφή με την προβολή. Το περιστατικό των ολισθήσεων στην γκοφρέτα περιορίζεται με την παρεμπόδιση του warpage του σώματος κατόχων επάνω στην κατασκευή του σώματος κατόχων. Περαιτέρω, κάθε μια από τις γκοφρέτες που έχουν τις διαφορετικές διαμέτρους assuredly το ίδιο σώμα κατόχων χωρίς παρέκκλιση από μια σχετική προκαθορισμένη θέση. Επιπλέον, οι διαδικασίες εργασίας για τη φόρτωση και την εκφόρτωση της γκοφρέτας σε και από το σώμα κατόχων διευθύνονται ομαλά.