An impurity diffusion preventing layer is provided between a first upper clad layer adjacent to an optical absorption layer and a second upper clad layer provided on the first upper clad layer in order to prevent p type impurity from diffusing to the first upper clad layer adjacent to the optical absorption layer.

Слой диффузии примеси предотвращая обеспечен между первым верхним clad слоем за оптически слоем абсорбциы и вторым верхним clad слоем обеспеченные, что на первом верхнем clad слое предотвратил примесь типа п от отражать к первому верхнему clad слою за оптически слоем абсорбциы.