A yield and failure analysis system having composite wafermaps provides the
ability to view numerous lots on a single screen, identifying the
semiconductor manufacturing process, which caused wafer failures and the
associated malfunctioning equipment. A wafer inspection instrumentation
(28) probes each wafer within a given lot and applies a series of tests.
Wafer defect data is stored in a first relational database (46) for
compiling a composite wafermap for each lot. Collected wafer defect data
is converted into a FFT signature. Present wafer defect data is compared
with stored converted wafer defect data patterns to generate correlation
coefficients. When the correlation coefficients are within a predetermined
range, the converted wafer defect data pattern is stored in the second
relational database (47). Data may be accessed from both databases by a
user interface (44), enabling the user to analyze data in real time and
generate reports.
Un système de rendement et d'analyse d'échec ayant les wafermaps composés fournit la capacité de regarder de nombreux sorts sur un écran simple, identifiant le processus de fabrication de semi-conducteur, qui a causé les échecs de gaufrette et l'équipement de défaut de fonctionnement associé. Une instrumentation d'inspection de gaufrette (28) sonde chaque gaufrette dans un sort donné et applique une série d'essais. Des données de défaut de gaufrette sont stockées dans une première base de données relationnelle (46) pour compiler un wafermap composé pour chaque sort. Des données rassemblées de défaut de gaufrette sont converties en signature de FFT. Des données actuelles de défaut de gaufrette sont comparées aux modèles convertis stockés de données de défaut de gaufrette pour produire des coefficients de corrélation. Quand les coefficients de corrélation sont dans une marge prédéterminée, le modèle converti de données de défaut de gaufrette est stocké dans la deuxième base de données relationnelle (47). Des données peuvent être consultées des deux bases de données par une interface utilisateur (44), permettant à l'utilisateur d'analyser des données en temps réel et de produire des rapports.
