A method for achieving improved piezoelectric films for use in a resonator device is disclosed. The method is based on applicant's recognition that the texture of a piezoelectric film (e.g., as used in a piezoelectric resonator) is directly affected by the surface morphology of the underlying electrode, and additionally, the surface morphology of the electrode is affected by the surface morphology of the underlying oxide layer or Bragg stack. Accordingly, the invention includes a method of making a device having a piezoelectric film and electrode including controlling the deposition and surface roughness of the electrode and optionally, the Bragg stack.

Μια μέθοδος για τις επίτευξη βελτιωμένες πιεζοηλεκτρικές ταινίες για τη χρήση σε μια συσκευή αντηχείων αποκαλύπτεται. Η μέθοδος είναι βασισμένη στην αναγνώριση του υποψηφίου ότι η σύσταση μιας πιεζοηλεκτρικής ταινίας (π.χ., όπως χρησιμοποιείται σε ένα πιεζοηλεκτρικό αντηχείο) επηρεάζεται άμεσα από τη μορφολογία επιφάνειας του ελλοχεύοντος ηλεκτροδίου, και πρόσθετα, η μορφολογία επιφάνειας του ηλεκτροδίου επηρεάζεται από τη μορφολογία επιφάνειας του ελλοχεύοντος στρώματος οξειδίων ή του σωρού Bragg. Συνεπώς, η εφεύρεση περιλαμβάνει μια μέθοδο παραγωγής μια συσκευή που έχει μια πιεζοηλεκτρικά ταινία και ένα ηλεκτρόδιο συμπεριλαμβανομένου του ελέγχου της τραχύτητας απόθεσης και επιφάνειας του ηλεκτροδίου και προαιρετικά, ο σωρός Bragg.