A variable attenuator employs a shutter element that is inserted into the path of a beam of radiation. The shutter element comprises a transparent substrate with an opaque layer formed on top of the substrate. The opaque layer forms a pattern in the shape of dots on one part of the substrate and in the shape of a solid layer with holes therein on another part of the substrate. The pattern of holes and dots are such that the radiation transmission function of the element varies as a smooth linear function with the length of the shutter element. Therefore, by inserting the shutter element in a direction along its length into the path of the radiation beam, the amount of attenuation of the beam can be accurately controlled.

Ein variabler Abschwächer setzt ein Blendenverschlußelement ein, das in den Weg eines Lichtstrahls der Strahlung eingesetzt wird. Das Blendenverschlußelement enthält ein transparentes Substrat mit einer undurchlässigen Schicht, die auf das Substrat gebildet wird. Die undurchlässige Schicht bildet ein Muster in der Form der Punkte auf einem Teil des Substrates und in der Form einer festen Schicht mit Bohrungen darin auf einem anderen Teil des Substrates. Das Muster der Bohrungen und die Punkte sind so, daß die Strahlung übertragungstechnische Funktion des Elements als glatte lineare Funktion mit der Länge des Blendenverschlußelements schwankt. Folglich indem man das Blendenverschlußelement in einer Richtung entlang seine Länge in den Weg des Strahlung Lichtstrahls einsetzt, kann die Menge der Verminderung des Lichtstrahls genau gesteuert werden.