A structure and method for an optical switch is provided that includes
providing sidewall electrodes with steerable micro-mirrors to position and
control micro-mirror movement. The structure and method includes using the
sidewall electrodes in conjunction with electrodes underlying a
micro-mirror to sense capacitance present between a micro-mirror and
underlying electrodes and/or sidewall electrodes, and driving the
electrodes underlying the micro-mirror and the sidewall electrodes to move
the micro-mirror into an angular position. The electrode structures and
methods of driving them may be used in systems with closed loop feedback
control to reduce transient mirror settling time and provide substantial
immunity to system perturbations when micro-mirrors switch an optical
signal from an input fiber to an output fiber of the optical switch, or
when a micro-mirror is held at an angular position over long time scales.
Uma estrutura e um método para um interruptor ótico são contanto que inclui fornecer os elétrodos do sidewall com os micro-espelhos steerable ao movimento do micro-espelho da posição e do controle. A estrutura e o método incluem usando os elétrodos do sidewall conjuntamente com elétrodos subjacentes um micro-espelho detetar a capacidade atual entre um micro-espelho e uns elétrodos subjacentes e/ou uns elétrodos do sidewall, e dirigindo os elétrodos subjacentes o micro-espelho e os elétrodos do sidewall para mover o micro-espelho em uma posição angular. As estruturas do elétrodo e os métodos de dirigi-los podem ser usados nos sistemas com controle do gabarito do laço closed reduzir o tempo estabelecindo-se do espelho transiente e fornecer o immunity substancial aos perturbations do sistema quando os micro-espelhos comutam um sinal ótico de uma fibra da entrada a uma fibra da saída do interruptor ótico, ou quando um micro-espelho está prendido em escalas de estadia longas do excesso da posição angular.