A method for vacuum packaging MEMS devices is provided that comprises forming a plurality of MEMS devices (12) on a device wafer (10). A first sealing ring (16) is formed surrounding one of the MEMS devices (12) and any associated mating pads (70). A plurality of integrated circuit devices (80) is formed on a lid wafer (30) where each integrated circuit device (80) has one or more associated mating pads (82) and one or more associated bonding pads (86). A plurality of second sealing rings (32) is formed on the lid wafer (30) where each of the second sealing rings (32) surrounds one of the integrated circuit devices (80) and any associated bonding pads (82). The second sealing ring (32) is positioned between the perimeter of the integrated circuit device (80) and the associated bonding pads (86). A sealing layer is formed on either each first sealing ring (16) or each second sealing ring (32). The device wafer (10) is mated with the lid wafer (30) in a vacuum environment to form a plurality of vacuum packages where each vacuum package encloses one or more of the MEMS devices (12) and one or more of the integrated circuit devices (80).

Μια μέθοδος για τις συσκευές MEMS κενής συσκευασίας παρέχεται που περιλαμβάνει τη διαμόρφωση μιας πολλαπλότητας MEMS των συσκευών (12) σε μια γκοφρέτα συσκευών (10). Ένα πρώτο σφραγίζοντας δαχτυλίδι (16) είναι διαμορφωμένη περιβάλλουσα μια από τις MEMS συσκευές (12) και οποιαδήποτε σχετικά μαξιλάρια ζευγαρώματος (70). Μια πολλαπλότητα των συσκευών ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (80) διαμορφώνεται σε μια γκοφρέτα καπακιών (30) όπου κάθε συσκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (80) έχει ένα ή περισσότερα σχετικά μαξιλάρια ζευγαρώματος (82) και ένα ή περισσότερα σχετικά συνδέοντας μαξιλάρια (86). Μια πολλαπλότητα των δεύτερων σφραγίζοντας δαχτυλιδιών (32) διαμορφώνεται στην γκοφρέτα καπακιών (30) όπου κάθε ένα από τα δεύτερα σφραγίζοντας δαχτυλίδια (32) περιβάλλει μιας από τις συσκευές ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (80) και οποιαδήποτε σχετικά συνδέοντας μαξιλάρια (82). Το δεύτερο σφραγίζοντας δαχτυλίδι (32) τοποθετείται μεταξύ της περιμέτρου της συσκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (80) και των σχετικών συνδέοντας μαξιλαριών (86). Ένα στρώμα σφράγισης διαμορφώνεται είτε σε κάθε πρώτο σφραγίζοντας δαχτυλίδι (16) είτε κάθε δεύτερο σφραγίζοντας δαχτυλίδι (32). Την γκοφρέτα συσκευών (10) ζευγαρώνουν με την γκοφρέτα καπακιών (30) σε ένα κενό περιβάλλον για να διαμορφώσει μια πολλαπλότητα των κενών συσκευασιών όπου κάθε κενή συσκευασία εσωκλείει μιας ή περισσότερων από τις MEMS συσκευές (12) και μιας ή περισσότερων από τις συσκευές ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (80).

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Piezoelectric oscillator and electronic device

> Method of illuminating liquid crystal layer and liquid crystal display device using the same

> (none)

~ 00051