A method of making a sensor includes the steps of providing a preformed self-supporting flexible substrate; sputter-depositing a metal layer on the substrate; etching the sputter-deposited metal layers to form a sensor electrode having a proximal segment and a distal segment; plating a metal layer on the sensor electrode; and separating the sensor electrode and at least a portion of the substrate underlying the sensor electrode from the remainder of the substrate. Sensors prepared according to the inventive methods, and sensor sets including the sensors, are also provided.

Een methode van het maken een sensor omvat de stappen van het verstrekken van een voorgevormd zelfstandig flexibel substraat; sputteren-deponeert een metaallaag op het substraat; etsend de sputteren-gedeponeerde metaallagen om een sensorelektrode te vormen die een proximaal segment en een distaal segment heeft; het plateren van een metaallaag op de sensorelektrode; en scheidend de sensorelektrode en minstens een gedeelte van het substraat dat aan de sensorelektrode ten grondslag ligt van de rest van het substraat. De sensoren die volgens de vindingrijke methodes worden voorbereid, en de sensorreeksen met inbegrip van de sensoren, worden ook verstrekt.