The present invention relates to a novel polymer comprising at least one unit derived from an ethylenically unsaturated compound containing at least one cyano functionality and at least one nonaromatic cyclic unit. The novel polymer is particularly useful when used in a photoresist composition sensitive in the deep ultraviolet region.

Η παρούσα εφεύρεση αφορά ένα νέο πολυμερές σώμα περιλαμβάνοντας τουλάχιστον μια μονάδα που προέρχεται από μια αιθυλενικά ακόρεστη ένωση που περιέχει τουλάχιστον μια κυανή λειτουργία και τουλάχιστον μια nonaromatic κυκλική μονάδα. Το νέο πολυμερές σώμα είναι ιδιαίτερα χρήσιμο όταν χρησιμοποιημένο σε μια photoresist σύνθεση ευαίσθητος στη βαθιά υπεριώδη περιοχή.