Acetylacetone and an aqueous nitric acid are included in a solution in
which organic metal compounds of metals constituting a ferroelectric in an
organic solvent thereby forming a ferroelectric film formation solution.
The solution is applied to a substrate, followed by drying and baking to
obtain a ferroelectric film. As a consequence, even when forming a
ferroelectric film such as a PZT or PLZT film containing a II group
element in the periodic table, a stable ferroelectric film formation
solution which prevents neither crystallization nor gelation and is
reduced in a change with time in the viscosity thereof can be obtained. A
ferroelectric film which contains a II group element and has excellent
ferroelectric properties can be thus produced with ease.
Acetylacetone und eine wäßrige Salpetersäure sind in einer Lösung eingeschlossen, in der organische Metallmittel der Metalle, die ein ferroelectric in einem organischen Lösungsmittel dadurch bildet eine ferroelectric Filmanordnung Lösung festsetzen. Die Lösung wird an einem Substrat angewendet, gefolgt, indem man trocknet und backt, um einen ferroelectric Film zu erhalten. Als Folge selbst wenn, einen ferroelectric Film wie ein PZT oder ein PLZT bildend, filmen Sie das Enthalten eines Gruppe II Elements in der periodischen Tabelle, eine beständige ferroelectric Filmanordnung Lösung, die weder Kristallisation noch Gelierung verhindert und in einer Änderung mit Zeit in der Viskosität kann davon erreicht werden verringert wird. Ein ferroelectric Film, der ein Gruppe II Element enthält und ausgezeichnete ferroelectric Eigenschaften hat, kann mit Mühelosigkeit folglich produziert werden.