The invention relates to methods and apparatus for determining a characteristic of an optical element. The apparatus includes a spatial light pattern generator adapted to generate a beam of light at a predetermined spatial position, at least one lenslet disposed in an array of lenslets adapted to receive the beam of light from the spatial light pattern generator, and to direct the beam of light to the optical element. The apparatus further includes a detector positioned to receive the beam of light subsequent to the beam of light encountering the optical element. The detector is adapted to detect a received spatial position at which the detector receives the beam of light. The apparatus also includes a processor adapted to compare the predetermined spatial position with the received spatial position to determine the characteristic of the optical element. The invention further relates to methods and apparatus for generating a diffraction limited image. The apparatus includes a spatial light pattern generator adapted to generate a plurality of beams of light at selected spatial positions to compensate for a characteristic of an optical element and an array of lenslets adapted to receive the plurality of beams of light from the spatial light pattern generator and to direct the plurality of beams of light to the optical element. The apparatus also includes an image plane positioned to receive the plurality of beams of light subsequent to the plurality of beams of light encountering the optical element and adapted to form the diffraction limited image.

Die Erfindung bezieht auf Methoden und Apparat für die Bestimmung einer Eigenschaft eines optischen Elements. Der Apparat schließt einen räumlichen hellen Mustergenerator mit ein, der angepaßt wird, um einen Lichtstrahl in einer vorbestimmten räumlichen Position zu erzeugen, mindestens ein lenslet, das in einer Reihe lenslets abgeschaffen wird, die, um den Lichtstrahl vom räumlichen hellen Mustergenerator zu empfangen, angepaßt werden und den Lichtstrahl auf das optische Element zu verweisen. Der Apparat, der weiter ist, schließt einen Detektor mit ein, der in Position gebracht wird, um den Lichtstrahl zu empfangen folgend dem Lichtstrahl das optische Element antreffend. Der Detektor wird angepaßt, um eine empfangene räumliche Position zu ermitteln, auf der der Detektor den Lichtstrahl empfängt. Der Apparat schließt auch einen Prozessor mit ein, der angepaßt wird, um die vorbestimmte räumliche Position mit der empfangenen räumlichen Position zu vergleichen, um die Eigenschaft des optischen Elements festzustellen. Die weitere Erfindung bezieht auf Methoden und Apparat für das Erzeugen eines Beugung begrenzten Bildes. Der Apparat schließt einen räumlichen hellen Mustergenerator mit ein, der angepaßt wird, um eine Mehrzahl der Lichtstrahlen in vorgewählten räumlichen Positionen zu erzeugen, um eine Eigenschaft eines optischen Elements und eine Reihe lenslets zu entschädigen, die, um die Mehrzahl der Lichtstrahlen vom räumlichen hellen Mustergenerator zu empfangen angepaßt werden und die Mehrzahl der Lichtstrahlen auf das optische Element zu verweisen. Der Apparat schließt auch eine Fotomaterialebene ein, die in Position gebracht wird, um die Mehrzahl der Lichtstrahlen zu empfangen folgend der Mehrzahl der Lichtstrahlen das optische Element antreffend und angepaßt ist, um das Beugung begrenzte Bild zu bilden.

 
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