A solid state microwave switch having a plurality of adjacent parallel
fingers covered with an oxide layer. One end of a finger is an N+ source
region while the other end is an N+ drain region, with a current
conducting N region between them. The oxide layer is covered with a gate
layer to which a gate signal is applied for control of current between the
N+ regions through the N region. The gate layer is highly resistive and
has a sheet resistance on the order of millions of ohms per square. The
length from the source to drain region is around 2 .mu.m, and the fingers
are spaced with a pitch of around 1 .mu.m.
Ένας διακόπτης στερεάς κατάστασης μικροκυμάτων που έχει μια πολλαπλότητα των παρακείμενων παράλληλων δάχτυλων που καλύπτονται με ένα στρώμα οξειδίων. Ένα τέλος ενός δάχτυλου είναι ν + περιοχή πηγής ενώ το άλλο τέλος είναι ν + περιοχή αγωγών, με μια τρέχουσα περιοχή διεύθυνσης ν μεταξύ τους. Το στρώμα οξειδίων καλύπτεται με ένα στρώμα πυλών στο οποίο ένα σήμα πυλών εφαρμόζεται για τον έλεγχο του ρεύματος μεταξύ ν + των περιοχών μέσω της περιοχής ν. Το στρώμα πυλών είναι ιδιαίτερα ανθεκτικό και έχει μια αντίσταση φύλλων σε παραγγελία των εκατομμυρίων των ωμ ανά τετράγωνο. Το μήκος από την πηγή για να στραγγίξει την περιοχή είναι μu.μ περίπου 2, και τα δάχτυλα χωρίζονται κατά διαστήματα με μια πίσσα περίπου 1 μu.μ.